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清华微电子学研究所
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李志坚

李志坚 电子学专家,男,1928年5月1日生于浙江宁波,清华大学教授,信息科学与技术学院学术委员会委员。1951年浙江大学物理系毕业,1958年获苏联列宁格勒大学科学副博士学位,曾长期任清华大学微电子学研究所长。1991年被选为中国科学院院士。现任中国电子学会荣誉会员,国家科学技术名词委员会委员,中国微纳米技术学会名誉副理事长,《电子学报》、《半导体学报》和《传感技术学报》编委。曾应邀担任:国际固体器件与集成电路技术( IC SICT93,95 )、固体材料与器件(ssdm95,98-2004 )、国际电子、电气工程师学会第十区会议(TECON96)等国际学术会议的大会主席、程序委员会委员或国际顾问委员会委员等。
    李志坚教授1953年开始半导体物理研究,曾成功地提出薄膜光导体的晶粒电子势垒理论。他对中国早期硅器件技术的发展做出了重要贡献;60年代初先后研制出超纯多晶硅合金硅晶体管和高反压平面晶体管。他对MOS结构和Si/SiO2界面物理有深入的研究,曾获国家教委科技进步奖。
    1965年起他开始集成电路的研究。80年代先后研究和领导研制成功2KEEPROM、16K位SRAM、16位微处理器等VLSI芯片。“3微米VLSI成套工艺技术和集成电路研究”获1987年国家科技进步二等奖。
    “1~1.5微米VLSI-CMOS工艺及1兆位汉字库ROM”获1995年国家科技进步二等奖。他参与发明的“超大规模集成电路(VLSI)快速热处理技术和设备”取得中、美两国专利,并获1990年国家发明二等奖。
    90年代以来他致力于硅“系统集成”芯片技术的研究和开发,在CMOS电流型模糊逻辑微处理器,利用人工神经网络和模糊决策技术的手写体字符识别器和语音识别器等VLSI系统集成芯片方面取得一系列成果。作为信息系统的输出、输入接口,他成功地开展了硅基微电机系统(MEMS)的研究,已研制出硅微马达、微泵和微麦克风等MEMS器件。在以上领域他已持有多项美国专利。 
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