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论文翻译 |
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刘理天 |
刘理天，教授，博导。 1947.6出生于南昌. 1970毕业于清华大学无线电电子学系。
现任:
* 中国微米/ 纳米学会常务理事
* 中国仪器仪表传感器学会常务理事
* 中国计量测试学会理事 * 中国电子学会高级会员
*《固体电子学研究进展》编委
*《传感技术学报》编委
*《仪表技术与传感器》编委
通信地址：中国北京清华大学微电子学研究所，邮编100084 Tel : 010－62784682 Fax : 010－62771130 E-mail: liulitian@mail.tsinghua.edu.cn
曾负责和承担"八五"、"九五"、"十五"期间多项国家"科技攻关"、"攀登计划"、"自然科学重大和重点基金"、"973计划"、"863计划"项目。这些任务都被很好完成，均已通过了国家验收或鉴定。
l) 曾经进行过的研究内容：
·高频功率晶体管 双极型集成电路 (TTL)
·结型场效应器件(JFT) EEPROM集成电路
·BiCMOS低温器件与电路 深亚微米MOS器件
·微机械 (MEMS)器件 硅集成传感器
2) 近年来研究成果：在国内首先研制出以下器件：
·几种新型硅集成传感器（压力、温度、红外、磁场、加速度、等传感器）
·硅微静电马达
·硅集成微型泵
·硅微声学器件（硅麦克风、超声器件）
以上器件在结构上都具有创新，技术指标都达到国际先进水平
3) 论文发表情况：
在国内外重要学术期刊及学术会议上发表了260余篇论文。SCI收录80余篇，EI收录100余篇，其中有若干篇被评为中国电子学会全国优秀论文。
(二) 目前研究方向与研究内容：
1、研究方向：
(1) 集成传感技术与器件
·硅微型加速度计
·硅集成压力传感器
·集成磁场传感器
·硅微流量计
(2) 微电子机械系统 (MEMS)
·硅微型马达
·硅微型泵
·硅微型麦克风
·铁电--硅微器件
·硅微机械陀螺
·RF MEMS器件（射频微机械开关、滤波器、天线、电感电容）
·微光机电器件（MOEMS）
(3) 硅生物芯片与技术
·微电子与分子生物学兼容技术
·DNA芯片技术（生物芯片技术）
(4) 新型微电子器件
·深亚微米MOS器件
·半导体低温器件与电路
(5) 纳米技术与纳米器件
·纳米制造技术、加工技术
·量子传感器 |
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