发布日期：2012-04-26
项目单位：清华大学
招标代理机构：清华大学
清设报第2012022号
清华大学拟对购置薄膜应力测试仪1台进行招标，欢迎具有相应资质的单位报名参与投标。项目情况及相关要求如下：
一、项目简介
清华大学微电子学研究所购置薄膜应力测试仪用于高迁移率沟道工程研究项目，主要用于半导体晶片表面沉积的薄膜应力大小和分布进行测量。
二、招标内容
薄膜应力测试仪1台，主要技术指标要求如下：
（一） 技术指标
可测晶片尺寸：最大可达8英寸
扫描范围：200mm范围内程序可控
最小扫描步长：0.02mm
应力范围：1-4000Mpa
重复性（1 Sigma）：1.3MPa
精度：小于2.5％或1 Mpa
样品台可加热，温度范围：室温~500摄氏度
（二） 设备配置
1. 测量模块
2. 计算机
3. 4-8英寸晶圆定位环
4. 应力三维分布分析软件
三、资格预审要求
1、投标企业具有独立法人资格，国内企业注册资金不低于100万元（或国外企业注册资金不低于50万美元）；
2、 投标单位营业执照（复印件，加盖公章）；
3 、有针对本项目的法人代表授权委托书（原件）；
4、不同时为制造商的投标商应提供对此次招标项目的制造商授权书（原件）；
5、企业资质证明、ISO9001质量体系认证、及其它相关材料（复印件，加盖公章）；
6、同类产品在国内的用户名单。
报名时需提交以上资料，同时附上准备投标产品的品牌、型号以及该产品与本招标公告所开列的主要技术要求相对应的指标参数或文字表述。招标单位根据以上证明资料进行资格预审，招标人将从资格预审通过者中遴选邀请对象，未被邀请者恕不另行通知。
四、报名时间与地点
报名时间：2012年4月26日－2012年5月10日
（每天上午8:30-11:30，下午1:30-4:30，节假日休息）
报名地点：清华大学实验室与设备处9号楼223室
五、联系方式
联 系 人：王 慧，刘 鹏 联系电话：010－62785713，62791150
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